Năm 1677

Vào khoảng năm Đinh Tị (1677), thiền sư Nguyễn Thiều – Siêu Bạch (phái thiền Lâm Tế, đời 33) và một số đệ tử đến Phủ Qui Ninh (Qui Nhơn sau này), lập chùa Thập Tháp – Di Đà, năm 1683 ra Thuận Hóa lập chùa Hà Trung và đến Phú Xuân lập chùa Quốc Ân, dựng tháp Phổ Đồng (năm 1684).
Trong thời gian 1660 – 1680, phái thiền Trúc Lâm phục hưng ở vùng Quảng Trị – Thuận Hóa với sự xuất hiện của các thiền sư Viên Cảnh, Viên Khoan về quan trọng nhất là thiền sư Minh Châu – Hương Hải. Nhiều người trong Hoàng gia Chúa Nguyễn, một số triều thần đã qui y với thiền sư Minh Châu – Hương Hải.