Năm 1728

Ngày 19 tháng 10 năm Mậu Thân, niên hiệu Bảo Thái thứ 9 (20 – 11 – 1728). Tổ sư Nguyên Thiều – Siêu Bạch lâm bịnh nhẹ, cho triệu tập môn đồ tứ chứng, giảng dạy huyền cơ, di chúc mật ngữ. Tổ sư bảo lấy bút, viết bài kệ:
Tịch tịch cảnh vô ảmh
Minh minh châu bất dung
Đường đường phi vật
Liêu liêu không vật không.
Lẳng lặng gương không ảnh.
Sáng sáng ngọc không hình,
Rõ ràng vật không vật,
Vắng lặng không chẳng không.
Viết xong Tổ sư ngồi thiền định mà viên tịch, thọ 81 tuổi. Đồ chúng lập tháp thờ ở sân trước, phía trái chùa Kim Cang để tàng kim thân và lễ nhập tháp được tổ chức vào năm Kỷ Dậu (1729).