Năm 580, Thiền sư Tỳ Ni Đa Lưu Chi đến nước ta thời vua Lý Phật Tử, truyền pháp ở chùa Pháp Vân (chùa Dâu ngày nay, ở Bắc Ninh), khai mở dòng thiền Pháp Vân ( còn gọi là dòng thiền Tỳ Ni Đa Lưu Chi). Ông là người miền bắc Ấn Độ, một vùng tôn sùng Phật giáo Đại Thừa chuyên về thiền định, đến kinh đô Trường An, Trung Quốc, năm 574 vào đời vua Tùy Dương Đế. Ộng được Tăng Xán (tổ thứ 3 Thiền Tông Trung Hoa) ấn chứng và khuyên nên đi về phương Nam mà hoằng hóa. Do đó, ông tìm tới nước ta.
Ông dịch hai quyển kinh quan trọng là Tượng Đầu Tinh Xá và Đại Thừa Phương Quảng Tổng Trì. Như vậy Thiền Việt Nam dù chủ trương không bị ràng buộc vào ngôn ngữ nhưng ngay từ đầu chưa từng khinh khi văn tự. Thiền Tỳ Ni Đa Lưu Chi chú trọng nhiều về thực hành, nặng ảnh hưởng Đại Thừa của Ấn Độ, trong đó có tính thần bí của Mật Tông. Theo Nhất Hạnh (VNPGSL 1), Tỳ Ni Đa Lưu Chi dùng danh từ “tâm ấn” sớm nhất. Tâm ấn dùng trong kinh Đại Nhật (bộ kinh quan trọng nhất của Mật Tông) có nghĩa là tinh yếu mật ý của kinh này.
Kinh Tượng Đầu Tinh Xá dạy 10 phép thiền quán nội ngoại để trừ chấp trước, mang mầu sắc văn học Bát Nhã, nói về bản chất của giác ngộ qua các vấn đề: ai tu Bồ Đề, ai được Bồ Đề, lấy thân hay lấy tâm mà chứng để được Bồ Đề, Bồ Đề ( sự giác ngộ) là gì? Kinh Tượng Đầu Tinh Xá thuộc hệ Bát Nhã, được Tỳ Ni Đa Lưu Chi dùng làm căn bản hành thiền cho dòng thiền Pháp Vân.
Kinh Đại Thừa Phương Quảng Tổng Trì là một kinh về Mật giáo, nêu lên những lời răn đe các Phật tử ưa chỉ trích lẫn nhau. Lê Mạnh Thát đã dịch hai bản kinh này ra tiếng Việt (LSPGVN 2, tr. 729 – 771). Ảnh hưởng của Mật giáo trong dòng thiền Pháp Vân trở thành mạnh mẽ hơn vào thời nhà Đinh và Tiền Lê sau này.
Tỳ Ni Đa Lưu Chi truyền tâm ấn cho Pháp Hiển, người trước đó đã học thiền với sư Quán Duyên trú trì chùa Pháp Vân từ trước khi Tỳ Ni Đa Lưu Chi tới. Khi Tỳ Ni Đa Lưu Chi tịch, Pháp Hiển tổ chức lễ Trà Tỳ (hỏa thiêu), là một phong tục hoàn toàn xa lạ với dân Trung Quốc thời bấy giờ. Mãi tới năm 676, sư Vận Kỳ mới trình vua Đường hai bản kinh Đại Niết Bản do thầy mình là Hội Ninh cùng Trí Hiền hợp dịch tại đảo Java (Nam Dương), nói về hỏa táng và thâu thập xá lợi của Phật.
Pháp Hiển (tịch năm 626) có tới 300 đệ tử, Pháp sư nổi tiếng Đàm Thiên (542 – 607) của Trung Quốc tôn Pháp Hiển là một vị bồ tát sống (VNPGSL 1, tr.113). Vua Cao Tổ nhà Tùy bên Trung Quốc nghe tiếng đạo hạnh của Pháp Hiển, sai sứ đem theo hộp Xá Lợi và điệp văn sang cúng dường. Sư cho xây tháp Thuận Thành ở chùa Pháp Vân và các tháp chùa châu Phong, châu Hoan, châu Ái để thờ Xá Lợi. Theo sách Thiền Uyển Tập Anh, dòng thiền Pháp Vân truyền đến đời thứ 19 là thiền sư Y Sơn (tịch năm 1213). Thời Hậu Lê, vào thế kỷ 15, các vua nhiều lần rước tượng Phật chùa Pháp Vân về kinh để cầu mưa.