Năm 1893, (năm Thành Thái thứ năm), các Thái Giám trong triều lo khi chết không người cúng tế, nên tu sửa chùa Từ Hiếu ở Huế thành đồ sộ nguy nga để làm nơi gửi nắm xương tàn. Họ đóng góp của cải để dành, mua ruộng đất cúng chùa và xin Vua cùng vương phi ban cấp tiền bạc, vật liệu tu bổ chùa. Đạo dụ năm 1836 được khắc vào bia trước trường Quốc Tử Giám của vua Minh Mạng cấm Thái Giám hưởng tước quan trường và dự vào việc nước đã chặn đứng sự lạm quyền và giới hạn bổng lộc của các Thái Giám. Thời vua Thành Thái, số Thái Giám chỉ còn 15 người.
Từ Hiếu là tên chùa do vua Tự Đức ban cho năm 1849 để ca ngợi hiếu hạnh của thiền sư Nhất Định (Tánh Thiên, (1784 – 1847)). Ông xuất gia năm 18 tuổi, thọ đại giới với thiền sư Mật Hoằng tại chùa Quốc Ân năm 1814.
Năm 1816, ông làm trú trì chùa Báo Quốc (Huế).
Năm 1835, bộ Lễ cung thỉnh ông làm trú trì chùa Linh Hựu. Nhân dịp này, vua Minh Mạng khen ông “giới luật nghiệm tịnh, thiền cơ thâm đạt”.
Năm 1839, ông được sắc phong làm tăng cang chùa Giác Hoàng.
Năm 1843, được tin mẹ già đau nặng không người coi sóc, ông xin từ bỏ chức trú trì hai chùa lớn, từ khước mọi sự cúng dường, lên núi Dương Xuân lập Am An Dưỡng bằng tranh, cuốc đất trồng rau bắp phụng dưỡng mẹ già. Thầy thuốc chuẩn bệnh cho mẹ, bảo phải ăn cá tươi. Ông tự mình xuống chợ Bến Ngự mua cá về và tự làm cho mẹ ăn. Dân chúng dị nghị, báo cho quan. Sau khi điều tra hư thực, các quan trong triều càng thêm khâm phục sự hy sinh vô ngại vì hiếu hạnh của ông. Họ thường tới vấn đạo ông và xin ông cho phép dựng chùa thay cho Am bằng tranh, nhưng ông không chịu. Mãi tới năm 1848, sau khi ông tịch, đệ tử của ông là thiền sư Hải Thiệu (tịch năm 1899) mới chịu khởi công xây chùa. Vị trú trì cuối cùng của chùa Từ Hiếu trên danh nghĩa là HT Trừng Quang (tức sư ông Nhất Hạnh, người không được phép trở lại VN từ năm 1966). Hiện nay chùa Từ Hiếu là đạo tràng tu học trang nghiêm, liên tục của gần 100 tăng sĩ do TT Thái Hòa coi sóc, mặc dù không được chính quyền công nhận.