Năm 1952

Vào giờ Ngọ ngày 13 tháng 2 năm Nhâm Thìn (1952), Hòa thượng Diệu Quang đã xả báo thân tại chùa Viên Giác, núi Thình Thình, hưởng thọ 62 tuổi. Vì thời buổi chiến tranh nên nhục thân Ngài được nhập tháp tại chùa Viên Giác, nơi mà Ngài đã chấn tích khai sơn và gắn bó trong những năm tháng cuối đời. Ðồng thời, để tưởng nhớ công đức của Ngài, sơn môn Quảng Ngãi cũng đã xây tháp vọng thờ trong khuôn viên Tổ đình Thiên Ấn và suy tôn Ngài lên ngôi vị Ðệ lục Tổ tại tỉnh Quảng Ngãi.