Năm 2001

Tháng 9 năm 2001, bệnh cũ tái phát, mặc dù đã được hàng đệ tử thân cận tận tình chăm sóc và được các giáo sư bác sĩ, y sĩ bệnh viện Thừa Thiên Huế tận tình chữa trị, nhưng vì tuổi cao sức yếu, Hòa thượng Tâm Phật Thiện Siêu đã an tường xả báo thân lúc 16 giờ 30 ngày 03 tháng 10 năm 2001 (nhằm ngày 17 tháng 8 năm Tân Tỵ). thọ 81 tuổi đời, 53 tuổi đạo.