Năm 1742

Ngày 22 tháng 11 năm Nhâm Tuất (1742), niên hiệu Cảnh Hưng năm thứ ba, sau khi cúng ngọ và thọ trai xong, Hòa thượng Thiệt Diệu – Liễu Quán cùng ngồi uống trà với đệ tử. Bất ngờ Hòa thượng hỏi: Bây giờ là giờ gì ? Đồ chúng thưa: Bạch thầy, giờ Mùi. Hòa thượng Liễu Quán ngồi kiết già, an nhiên thị tịch, thọ 76 tuổi.
Chúa Võ Vương nghe tin, sắc ban bia ký và ban cho Hòa thượng Thiệt Diệu – Liễu Quán thụy hiệu là Chánh Giác Viên Ngộ Hòa thượng.
Lễ nhập tháp được cử hành ngày 19 tháng 2 năm Quí Hợi (1743), Hòa thượng Liễu Quán có hàng ngàn đệ tử xuất gia và cư sĩ, trong đó có 49 đệ tử nối truyền Tông pháp.
Tổ sư Liễu Quán phát xuất bài kệ truyền phái mới lập thành chi phái thiền Liễu Quán còn truyền đến ngày nay.